二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury MP #9281725 待售

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ID: 9281725
Spray cleaning systems PFA Turntable, 8" (2) Booster pumps Dual exhaust rinse box IR Chemical heater (5) Chemical tanks (2) Chemical consoles Chemicals used: HF, H2O2, HCl, HNO3, H2SO4 Helios DI-heater: 52kW.
FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Mercury MP是一種具有先進設計的光刻設備,可顯著提高半導體制造工藝的分辨率、速度和性能。該系統配備了先進的掃描裝置,能夠在直徑達200毫米的晶片上對光刻膠進行直接成像。它還包含一個高精度的機器人手臂,用於在基板上精確放置和去除光刻膠。該機配有電動級和隔振工具,用於晶圓的精確定位和控制。該資產旨在通過嚴格的過程控制和精確的基板定位提供精確的結果。它為成像和照明設備使用高分辨率的數字光學模型,能夠對光刻膠進行精確成像。這種數字光學系統還為精確的制造過程提供精確、可重復的曝光。該裝置采用自動裝載機,以確保在基板上連續精確的光阻載荷。該工具還包括一個獨特的燈和頭,在基板上產生一個均勻的圖樣,並確保精確的光敏應用。精確、可重復曝光和精確的光刻膠加載過程允許快速和精確的功能跨越不同的晶片。資產還具有先進的安全功能,如隔離系統和輻射吸收器,以確保安全和可靠的光刻工藝。該型號由功能強大的專用驅動設備提供動力,可確保在制造過程中精確的位置和速度控制。它配備了一系列控制和診斷工具,能夠對光刻膠進行精確和可重復的處理。該系統配備了各種參數和數據集成的控制系統,從而能夠對過程進行精確和可重復的控制。總體而言,FSI Mercury MP光刻裝置是一臺功能強大且可靠的機器,可提高生產效率、精度和過程控制。該工具性能卓越,是半導體制造工藝的絕佳選擇。它配備了一系列的特點和安全特點,以確保一個安全和精確的制造過程。
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