二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury MP #9281852 待售

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON MERCURY MP Photoresist Equipment是為滿足最高光刻要求而開發的高性能、多功能的掩模對準器。FSI Mercury MP融合了廣泛的功能，包括帶狀處理材料的機制、支持兩種基板的平臺、自動聚焦和厚度控制、節能幹光源、高精度掃描和自動後處理功能。TEL Mercury MP配備了原始的「高精度突起傳感器」，實現了高精度和快速測量。使用的光源是波長為436 nm的He-Cd激光器。幹光源支持高功率輸出和低能耗,並支持光刻過程的快速、精確對準。TOKYO ELECTRON MERCURY MP也支持帶形材料處理的一級或兩級光刻工藝。Mercury MP包括一個可以支持兩種基板的平臺，能夠同時對準和透厚測量。使用的掃描儀是一種高精度的線性交流伺服電動機，使可重復分辨率達到0.5 µm。它的表面掃描精度也是0.1 µm，點狀的精度對準也是0.2 µm。FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Mercury MP也有邊緣著色、掃描和濃度調節等自動化處理。面罩對準器的框架設計為保證操作方便，底架設計為防止振動。此外，FSI Mercury MP支持其他子系統的集成，使得能夠用於全自動光刻應用。TEL Mercury MP是一個用戶友好且先進的系統，滿足廣泛的應用。優化用於平板顯示器、太陽能電池、MEMS、IC代工廠等多個行業。此設備專為高生產率和一致性能而設計。該機配備了方便的用戶界面、強大的內置測量功能以及額外的數據處理功能，以增強用戶體驗。此外，TOKYO ELECTRON MERCURY MP的設計符合環境法規，盡量減少光汙染和靜電發電。該工具提供可靠的測量和快速、精確的對準，使其成為光刻的理想資產。