二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury MP #9299003 待售

FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury MP
ID: 9299003
晶圓大小: 6"
Spray cleaning system, 6".
FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Mercury MP光刻設備是一種先進的光刻工具,設計用於電子器件元件的處理。該系統由步進器、多軸級和光刻膠組成,能夠以高度精確和均勻的方式對各種設備表面的電路進行陣列化。步進器是單元的核心,允許輻射源提供光致抗蝕劑材料的曝光。輻射源是汞蒸氣燈,擁有其他步進系統前所未有的超高強度輸出。它還配備了光學器件,使其能夠在統一的基礎上精確成像重復模式。光刻機中使用的多軸級可以讓元件在曝光時容易且精確地重新定位。這保證了在一個廣泛的區域統一的圖樣,允許一個定制的光刻過程。此外,該工具能夠準確地遵循復雜的設計規則,使其能夠匹配甚至復雜的標線形狀。在FSI MercuryMP光刻膠資產中使用的光刻膠材料是為優異的均勻性和分辨率而設計的。它具有很高的耐用性和抗曝光損壞的能力,並且在所有聚焦級別均提供卓越的圖像分辨率。通過將這種材料與步進和多軸級相結合,模型能夠產生具有卓越清晰度和細線寬度的圖像。綜上所述,TEL Mercury MP光致抗蝕劑設備是生產電子元件的高度可靠和通用的工具。其步進、多軸級、光刻膠提供卓越的性能和精度,使其成為各種光刻應用的理想選擇。
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