二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury MP #9399075 待售

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Mercury MP光致抗蝕劑系統是一種高效可靠的系統，用於半導體制造過程中的晶片處理。它利用兩級抗蝕劑塗層工藝在基板上形成一層高均勻的薄膜。這種薄膜成為晶片進一步加工的基礎，對於最終產品的精度和可靠性至關重要。FSI Mercury MP在第一層抗蝕劑塗層之前對晶片使用標準加熱級。這樣可以確保表面溫度對於塗層工藝是最佳的。接下來，一個專門的自旋噴頭在基板表面分配一層均勻的抗蝕劑。然後在烤箱內烘烤這層薄膜，將抗蝕劑粘合到基材上。第二個抗蝕劑塗層可以使用第二個旋轉噴頭或可移動面板模塊執行。根據使用的抗蝕劑的類型，可能需要不同的烘烤溫度，以確保抗蝕劑棒正確。第二層抗蝕性塗層完成後，再對基板表面施加一層能量。這種能量使抗蝕劑對靜態電荷產生反應，產生一種模式，可用於晶圓的進一步處理。TEL Mercury MP是一種高效的光刻膠應用過程，產生可靠的結果。該系統利用最新技術，確保抗蝕劑準確地放置在基板上，達到產品的最高質量。這使得工藝可靠，是生產半導體元件的理想選擇。