二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury OC #190491 待售

FSI Mercury OC是半導體工業中使用的一種光致抗蝕劑系統，用於在矽晶片上沈積薄膜，並用矽和其他材料制造復雜的結構。該系統使用基於汞的光源（OC）在光刻過程中對光刻層進行曝光，以產生所需的圖案和結構，並采用先進的光學器件和軟件進行設計，以實現精確的控制和準確的結果。光刻過程需要在主軸上旋轉塗有光致抗蝕劑材料的晶片，並將抗蝕劑層以定義的圖樣形狀暴露在光源中。水星OC的特點是對光源的精確控制，通過其獨特的光學和軟件實現。這樣就可以在前所未有的精度和穩定性水平上形成小於1微米的特征大小。FSI Mercury OC的另一個關鍵特征是它的高分辨率成像，利用低光強度和高孔徑視野來實現。這樣可以對許多不同級別的陣列幾何和結構進行成像,包括小至0.2微米的特征。此外,它的光學器件設計用於最大程度地減少線條放置誤差、陣列移位和重叠形式的陣列失真。水星OC是一個獨立的光刻系統，用戶可以根據需要調整參數。這包括曝光時間、激光功率、聚焦位置和光束傾斜，可以為任何幾何的陣列進行修改。FSI Mercury OC是對矽和其他材料進行高精度和可靠性制圖的最佳選擇。它提供了高度的控制，允許用戶準確實現所需的功能。它的高分辨率成像、低光強度和納米圖案功能使用戶能夠產生錯綜復雜的圖樣和結構，從而產生尖端的高端半導體技術。