二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury OC #9015074 待售

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Mercury OC光刻膠設備是一種化學塗層系統，設計用於對光刻工藝中的超薄或微米厚的光刻膠層進行精確控制。通過將高精度的薄膜塗層與精確的均勻抗蝕劑相結合，實現了無與倫比的精度和可重復性。該機配備精密薄膜塗層工具，可控制1.2nm以下的薄層厚度。它還采用了三種獨特的薄膜塗層技術：阻力法、射流滴法和直接分配法，提高了塗層的精度和均勻性。該資產還具有精確精確的均勻抗蝕劑,可實現可重現的抗蝕劑層厚度。此模型能夠創建非常窄的線寬,這對於高級設備制造過程至關重要。FSI Mercury OC光刻膠設備配備了強大的軟件包，提供直觀的控制和過程監控能力。該軟件允許用戶快速定義塗層算法,從而確保縮短產品的上市時間。該軟件還包括一個可選的網絡連接，為用戶提供遠程監控功能。這樣就可以在不同的流程步驟以及遠程設備診斷和維護之間共享數據。該系統還通過遵守行業標準協議提供了集成的可追蹤性。此功能允許跟蹤和記錄流程參數,使操作員能夠輕松檢索數據、改進流程數據並維護法規遵從性。TEL Mercury OC光致抗蝕劑裝置具有很高的可靠性和抗變質性能.它強大而可靠，能夠處理各種復雜的微電路處理應用，使其成為光刻過程中不可或缺的一部分。