二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury OC #9233116 待售

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ID: 9233116
晶圓大小: 5"
Spray processor, 5" Single cassette, 8" Diameter, 14" A192-81M 25WH Rotor, 8" Fed from central chemical distribution set up No separate chemical carts with chemical canisters.
FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Mercury OC是一種光致抗蝕劑設備,設計用於提供晶圓表面的高精度和可重復成像。它是一種單列掃描儀,具有步進和掃描儀運動控制系統,使它能夠在晶圓上創建高度精確的模式。步進器和掃描儀的運動控制單元使得精確定位和彈出光刻膠成為可能。該機器還具有高分辨率光學成像工具和集成視覺資產,使其能夠快速準確地檢查其圖樣是否有錯誤。該模型設計用於使用多種光敏材料,包括正負光敏材料。它可以產生分辨率高達0.1微米的圖像,使其產生極小且錯綜復雜的圖案。該設備還配備了一個自動清潔系統,幫助保持抵抗材料無雜亂。這樣可以使設備保持峰值效率運行,並確保陣列的生成一致且準確。除了成像功能外,該機器還提供其他功能,以幫助簡化晶圓的制造過程。它有一個集成的圖像傳感器,使它能夠在晶圓表面上註冊圖樣。它還具有獲得專利的「自動圖像檢查」功能,即使在高分辨率級別也能確保一致的陣列化結果。FSI Mercury OC設計用於先進工藝技術。適用於半導體、MEMS和納米級制造工藝。它非常適合原型設計和生產高度復雜的結構,其特征小至0.1微米。該工具也適用於創建下一代電子元件,如多級MEMS和NEMS結構。資產方便用戶,操作方便,融合了先進的運動控制和圖像處理技術。它基於最新的計算機軟件平臺,與所有常見的光刻材料兼容。該模型還提供了長期投資,其持久可靠的機械使其成為尋求有效和經濟高效解決其晶圓制造需求的公司的理想選擇。
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