二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury OC #9233651 待售

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON MERCURY OC光致抗蝕劑設備是一種高精度的工具，用於將精確尺寸和精確應用的材料層層沈積在指定基板上，以便凹陷或主動成形表面。該系統適用於MEMS、半導體和相關行業內各種微制造程序的研發和試點規模制造。FSI Mercury OC單元的標準功能是用光刻膠材料精確塗覆基板，並使用接觸曝光工具或機器中發現的直接串行書寫工具精確定義光刻膠圖案的圖案或輪廓。光致抗蝕劑沈積工藝通常用於電子電路制造和光電器件生產或原型制作。接觸曝光工具負責創建由工具中使用的預定義標線確定的精確成像模式。根據所使用的標線,可以創建更高性能的陣列,從而實現高級功能,如更大的長寬比、非矩形形狀、3D微結構和更細的線寬。TEL Mercury OC使用的直接串行寫入過程是調制整個掃描表面的曝光能量，以實現不同的成像模式用於膠片圖樣。Mercury OC資產的整體性能能力通過使用渦輪泵真空模型得到進一步增強，該模型允許卓越的沈積均勻性、更高的工藝速度以及對薄膜厚度的精確控制。此外，TOKYO ELECTRON Mercury OC還擁有一個冷卻設備和濕度控制，允許更精確和可重復的過程。FSI/TEL/TOKYO ELECTRON MERCURY OC光致抗蝕劑單元作為一種綜合光致抗蝕劑系統，為多個行業提供高精度的制圖能力。該機專為高性能能效和精密圖樣設計，使其成為制造MEMS、半導體和光電器件的領先選擇。