二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury OC #9233653 待售

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ID: 9233653
晶圓大小: 5"
Spray processor, 5" Single cassette, 5" Diameter, 14" A182-50MB Rotor / Turntable, 5" Fed from central chemical distribution set up No separate chemical carts with chemical canisters.
FSI/TEL/TOKYO ELECTRON MERCURY OC(簡稱FSI Mercury OC)是由FSI International, Inc.和TEL Ltd開發的光敏處理設備。用於生產光敏材料,是微電子器件中的關鍵部件。TEL Mercury OC采用了一種稱為接觸圖像感測(CIS)的先進抗蝕劑處理技術,以極高的分辨率和均勻性確保精密蝕刻和抗蝕劑處理。該系統利用高度精確的光頭和專有軟件來準確讀取和處理從基板獲得的數據。這允許設備在分析正在生產的設備的輪廓時進行所需的微處理調整。Mercury OC還采用了獨特的化學輸送機器,能夠進行高速化學加工而不會出現過度蝕刻問題。它還配備了一個原位控制監控器,在制造過程中持續監測腔室的壓力、溫度和相對濕度。這使得該工具能夠保持最佳化學參數以獲得一致的高質量結果。TOKYO ELECTRON MERCURY OC支持廣泛的光致抗蝕劑和基材,包括有機、無機和混合系統。按照行業標準清潔塗料規範進行測試,既滿足研發實驗室的需要,也滿足大型生產設施的需要。該資產還具有激光劃線和樹脂塗層等可選的高級功能。這允許用戶控制其掩蔽過程,同時確保打印的設備精確對齊。最後,FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Mercury OC是一種先進的光刻膠處理模型,保證了高品質微電子器件的一致生產。它的功能使用戶能夠準確控制其掩蔽過程,並確保打印設備的精確對齊。它的先進技術和可選功能使其成為研發實驗室和大型生產設施的理想選擇。
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