二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury OC #9233654 待售

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Mercury OC是使用微處理器控制的旋轉蒸發源的光刻設備。該系統提供可靠的光刻膠分布，允許比傳統系統更精確的沈積。它利用真空單元將微米薄的光刻膠層蒸發到基板上。蒸發源安裝在旋轉平臺上，並包含在真空室中。蒸發器包含一個受控的熱能來源，能夠將溫度提高到235 °C。然後將蒸發源紡成均勻分布在基板上的光致抗蝕劑。蒸發速率可以根據蒸發源的速度和蒸發源抽取的熱能量來控制。該機還具有脈沖調諧功能，可調節脈沖頻率和脈沖寬度，從而提高光刻膠的分辨率。此高級功能提高了工具的靈活性,並且可以進行調整以滿足不同的工藝要求。該資產設計用於標準的單室光刻材料，如DUV（Deep UV）和I-Line光刻膠。它能夠處理廣泛的基材，包括矽片、玻璃、石英和金屬。該模型旨在提供可靠和可重復的結果。它具有質量監控設備，可以校準和不斷調整脈沖調諧參數，以確保準確的結果。它還具有一個集成系統,可幫助用戶輕松監控和管理制造過程。單位也是可伸縮的，因此可以適應不同的需求。FSI Mercury OC提供了一種高效、準確的光致抗蝕劑處理方法。其設計多種多樣，可調節的設置提供了靈活性和可靠性，以確保光刻膠的成功處理。該機具有均勻沈積、高度可控的熱源以及對脈沖調諧參數的精確控制等優點。此工具適用於各種應用,並確保可重復和可靠的結果。