二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury OC #9281186 待售

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Mercury OC是一種先進的光刻設備。光敏材料是一種光敏材料，用於通過光刻在基板上創建電路圖樣等特征。FSI Mercury OC系統利用最新的光學日冕技術，在薄膜層的圖樣（如微電子制造中使用的圖樣）上提供卓越的分辨率。TEL Mercury OC單元由三個模塊組成-一個主單元、一個預定位單元和一個曝光頭。主單元為三軸活動級，能夠處理尺寸達900毫米的基板。由於其先進的設計和包括三個高精度伺服電機系統，這一單元提供了精確的位置精度和可重復性。預定位裝置是用於制備光刻膠的專用機器。它可以精確測量光敏材料的厚度，並為曝光過程設置最佳參數。這個單元設計用於具有精確和可重復的吞吐率，並且可以處理各種各樣的基板如晶圓和平板。曝光頭是一種光學工具，具有兩個高分辨率透鏡和一個紫外線激光器。該單元能夠精確地繪制各種厚度和長寬比的光刻石層圖樣。也可用於大晶圓和平板的高分辨率和高通量處理。TOKYO ELECTRON MERCURY OC光致抗蝕劑資產在圖案化薄膜層時提供卓越的分辨率和質量。該模型允許精確定位特征，並支持廣泛的光刻膠和基材。此外，其先進的光電暈技術在處理大型晶片和平板時提高了速度和吞吐量。由於其準確、可靠、可重復的性能，水星OC光敏設備是制造高科技電子及相關元件的首選。