二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury #9030479 待售

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON MERCURY是一種光致抗蝕劑設備，設計用於高精度地將UV和Visible光精確地暴露在半導體和其他材料上。它具有高度可靠的紫外線暴露系統，具有出色的一致性，可用於各種基材。它還具有激光對準功能，除了一個可移動的舞臺，用於精確的圖樣和強化/散射。FSI Mercury使用高精度自旋塗層，使光刻膠能夠在基板上精確且均勻的塗層。這種裝置具有特殊的特性,例如用於可變旋轉速度和溫度控制的控制器,例如,用於旋轉前的基板加熱。與自旋塗層配對的晶圓級具有200毫米晶圓的容量。TEL Mercury的DUV（深紫外線）光源是專門為達到高水平的曝光精度而設計的，並提供了廣泛的功能，包括用於均勻曝光的光密度調整機。它的定位工具確保曝光目標準確對齊，以獲得最有效的結果。水星的光源還具有快門功能，旨在減少曝光系統之間的串擾。與位於資產底部的CCD圖像傳感器一起,可確保實現清晰且可重復的曝光。3軸控制器和自動調平臺進一步為曝光提供了穩定的基礎而不會出現擺動。此外，TOKYO ELECTRON MERCURY有一個敏感且精確的掃描和圖樣化控制模型。它可以實現大小和形狀的快速陣列化,從而能夠高效、準確地生成片上陣列。總體而言，FSI/TEL/TOKYO ELECTRON MERCURY是光刻和掃描過程中一種有價值和有效的光刻設備。它提供精確可靠的模式曝光,具有卓越的控制和廣泛的特點.該系統是提供高質量結果的可靠工具，是半導體和光掩模制造的理想選擇。