二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury #9065484 待售

FSI MERCURY是一種最先進的先進光刻設備。光致抗蝕劑用於選擇性屏蔽或暴露矽基或其他類型光學表面的區域，以形成集成光學元件。MERCURY是一種具有電子束穩定性和分辨率的熱穩定高級質子束光致抗蝕劑。FSI MERCURY光致抗蝕劑系統由兩層塗層配制化學、兩層平面化頂層塗層、兩層旋轉曝光後加固塗層和兩層介電塗層組成，以提高反射率。制劑化學主要由兩種成分組成：光引發劑和抗性制劑。光引發劑產生抗蝕劑形成所必需的反應性物種，而抗蝕劑配方充當決定光抗蝕劑特性的粘合劑。通過控制這兩種成分的濃度，可以達到光致抗蝕劑的理想分辨率。兩層平面化的頂層塗層在暴露於光致抗蝕劑時會形成平坦的平面表面。該層提高了光刻膠圖樣的分辨率和圖樣保真度。雙塗層自旋曝光後加固塗層增加了頂層塗層的平面化效果，增加了光刻膠的光硬化，也提供了額外的平面化效果。雙塗層介電塗層提高了圖案化光敏層的反射率，提高了光學元件的精度。MERCURY光刻膠單元具有很好的分辨率和圖樣保真度，並且允許亞微米曝光光刻膠。它具有低吸收系數和低蝕刻系數，非常適合復雜的集成光電路和微光學等多種應用。FSI MERCURY光刻機堅固耐用，熱穩定，非常適合工業應用。它還具有良好的附著力和耐蝕刻性能，非常適合長期可靠性和可重復性。MERCURY光刻器具成本效益，提供穩定性和可靠性，是先進的集成光學設備的理想之選。