二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury #9073572 待售

FSI MERCURY是用於光刻工藝制造集成電路的光刻設備。它是一種高度先進的抵抗技術，用於生產非常小的元件，比如在電流集成電路上發現的那些。光刻是一種將有圖案的掩模轉移到半導體材料上的過程。這種技術使用光敏化學物質在表面上制造很小的圖案。MERCURY光刻膠系統是用於生產微電子器件的最先進的抗蝕劑技術之一。FSI MERCURY光致抗蝕劑單元由兩種主要材料組成；一種光聚合單體和一種光著色劑。當單體經過預曝光階段，暴露於紫外線下，在底物表面形成光聚膜。然後,該膠片由光刻器鏈接以創建永久圖像。光解單體包含一種化學結構，允許它與光著墨劑交叉連接，進而在底物表面上形成永久的圖樣。一旦光聚合單體與光著色劑結合，在基板表面形成圖樣，MERCURY機便可提供盡可能高的層對層均勻性和成像性能。此工具可產生出色的定義,並為結構非常小的應用程序提供出色的分辨率和直線保真度。FSI MERCURY光致抗蝕劑資產具有非常廣泛的優點，包括熱膨脹系數非常低，粘度幾乎為零，放氣率非常低。它還提供高保質期和快速曝光時間。此外，它還具有很高的附著力和透明度，並且具有出色的抗開裂和起重能力。所有這些屬性使得MERCURY光阻模型成為集成電路制造商的理想選擇。總之，FSI MERCURY光致抗蝕劑設備具有幹燥時間快、熱膨脹系數低、成像清晰度好、層層均勻性高等多種互補品質。所有這些優勢使得MERCURY光阻系統成為一種高度先進的抗拒技術，並且是生產集成電路不可或缺的工具。