二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury #9093020 待售

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON MERCURY是一種設計用於在半導體晶片上制造集成電路元件的光刻設備。該系統由照明單元、顯影機和光刻工具三部分組成。照明資產使用準分子激光光源將電路模式暴露在晶圓上。然後通過控制曝光參數如波長、脈沖寬度、蝕刻圖案和曝光劑量，將這種圖案轉移到光刻膠上，光刻膠是一種可以對光敏感的材料。開發模型使用跟蹤設備為創建高分辨率電路模式提供經濟高效的解決方案。光致抗蝕劑系統包括開發暴露電路模式和控制蝕刻過程的解決方案。這是使用各種溶液來完成的，例如旋轉塗層和噴塗塗層工藝。自旋塗層利用旋轉的基材在晶片表面沈積均勻均勻的光刻膠層，而噴塗塗層則利用有機溶液在晶片上的反應來發展光刻膠層。這種光致抗蝕劑單元利用溶劑控制蝕刻過程，得到所需的電路圖樣。常用的溶劑包括二甲基亞氧化物（DMSO）和末丁醇-I-ol（T-I-O）。這些溶劑負責分解晶圓表面的化學鍵，從而幫助光刻膠層粘附在圖樣上。最後，FSI Mercury利用其Spacer技術形成了隔離層，這些隔離層是用來確定晶體管電路邊界的薄縫填充孔。間隔層通過提供電絕緣環境，有助於提高晶體管的產量和性能。總之，TEL Mercury是一種光刻機，為晶片上的集成電路的制造提供了高效可靠的解決方案。利用光源、開發工具和光刻膠資產以及各種溶劑，形成完整的光刻膠制造模型。