二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury #9116685 待售

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON MERCURY是一款由FSI Corporation開發的先進光刻設備。它旨在以最高的速度和精度處理大型、高度復雜的集成電路的制造。該系統結合了先進的光刻、沈積、蝕刻和計量工藝，配有廣泛的基材和塗層材料。這使得它成為生產用於當今技術最先進設備的高密度半導體的理想工具。FSI Mercury結合了靈活的工具平臺,可適應不斷變化的電路設計,提供性能的可擴展性和可預測性。它有一個先進的多功能光刻單元，從圖像輸入到機器的那一刻起就精確處理圖樣。該工具的設計特點尺寸為0.25微米或更小,精度為+/-3nm。這種提高的精度允許生產更平滑、更小的功能。TEL Mercury中工藝的沈積部分提供了廣泛的材料，包括鋁、銅、鈷、鈦和類金剛石碳（DLC）等金屬。它還包括保形沈積系統，能夠沈積高度均勻和保形的薄膜，不需要均勻校正。這在創建3 D結構時提供了更高的準確性。蝕刻過程利用電感耦合等離子體（ICP）技術，創造出高選擇性和保形性。這樣可以以最小的失真產生各種特征和結構。它還支持先進的定時技術,對過程進行嚴格控制,從而實現可靠的生產。最後，水星的計量過程允許精確測量零件和薄膜。它包括高分辨率掃描電子顯微鏡（SEM）、近場掃描光學顯微鏡（NSOM）、原子力顯微鏡（AFM）以及其他多種工具。所有這些都旨在提供有關設備特性和性能的精確反饋。總之，TOKYO ELECTRON MERCURY是提供高性能、可擴展性和可預測性的先進光阻資產。它結合了廣泛的先進光刻、沈積、蝕刻和計量過程，以及高度的可編程性，為工程師提供了生產復雜集成電路的強大工具。