二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury #9120351 待售

FSI MERCURY是一種光刻設備,專為高小型化元件特性的高效光刻而設計。該系統基於先進的DUV數字光刻技術，由準分子激光照明單元、全光學成像機、自旋塗層和自旋幹燥機組成。準分子激光照明工具產生一個短波長的曝光圖樣，用於在光刻塗層基板上創建精確、一致的圖樣。此資產可以產生具有亞微米分辨率的模式,可用於高度復雜的3D組件。MERCURY模型的全光成像設備提供與傳統光照射系統相比功率和分辨率更高的光阻塗層晶片的均勻精確照明。集成的自旋塗層和自旋幹燥機提供均勻的自旋塗層和幹燥工藝，使生產具有最佳的薄膜厚度和精確的表面均勻性。這種高科技組件的組合使FSI MERCURY能夠創建模式保真度更高、性能更高的模式。MERCURY的光刻膠系統即使在薄層上也能產生具有可接受缺陷率的高精度特徵。它的設計允許使用多種材料，包括金屬、聚合物、塑料和玻璃等多種材料。該單元可支持多種光刻應用,從接觸到孔再到3D圖樣。該機使用方便，提供優異的缺陷分析能力。通過使用精確的掩蔽和自動曝光掃描，可以實現亞微米工藝控制。精確的反饋控制和多層的自動曝光以及各種陣列和優化選項進一步提高了準確性和效率。諸如此類的高靈敏度光刻膠系統為移動電話攝像頭、光學元件和集成電路等更具挑戰性的技術提供了出色的分辨率、均勻性和缺陷降低。FSI MERCURY的精密光刻工具是3D元件光刻的絕佳解決方案，具有高精度和重復性。