二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury #9120352 待售

FSI MERCURY是專為宏觀電子和半導體應用而配制的專有光刻設備。它是一種具有抗蝕性的聚合物的薄膜，能夠釋放或捕獲將所需的圖樣轉移到物理基板所需的能量。該系統由基礎液體-光刻材料與顯影劑和輻射相結合，允許在電路制造中傳輸電路或組件的圖像。這種光致抗蝕劑單元有各種配方，適合在多種基材上使用，如鋁、銅、玻璃、矽、半導體、砷化的和石英。當暴露於紫外線（UV）輻射下，MERCURY抵抗聚合物分解，產生蝕刻圖像。該材料還具有較高的橫向阻力，從而防止了底切或分層。FSI MERCURY利用了幾層特殊性成分，使其性能優於其他光致抗蝕劑。機器以聚合抗蝕劑材料開始，又稱薄膜。該膜通過旋轉塗層工藝應用於基板上，並通過紫外線照射固化，以提高膜質量。另外，還使用額外的輻射將所需的圖樣暴露在預先塗層的晶圓上。一旦抗蝕劑暴露出來，就可以用串聯的粉碎機來回收未暴露的抗蝕劑膜，通過氟基固化工藝，形成永久性的結合。這使得它很容易被光刻蝕刻。至於後發展階段，必須將裸露的材料潔凈剝去，留下高分辨率的影像。MERCURY光致抗蝕劑工具還包括一個高質量的開發者，幫助提供在舉起接觸面罩時保持分辨率和質量的最佳解決方案。這樣可以確保底層基板不會因蝕刻過程而損壞。綜上所述，FSI MERCURY是一種薄膜抗蝕劑資產，它利用多個組件和過程將圖像傳輸到基板上。MERCURY憑借其先進的技術和眾多的好處，如靈活性、成本效益和卓越的分辨率，為宏觀電子學和半導體應用提供了最佳解決方案。