二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury #9137915 待售

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON MERCURY是一種光刻設備，用於光刻工藝生產半導體芯片。它采用深紫外線（DUV）抗蝕劑，設計用於光刻步進器。該系統由一個閉環處理單元和一個自動機器控制器、一個透明儲罐和一個精密的自旋塗層組成。該刀具控制器的設計滿足了一系列晶圓尺寸和生產量的需求，能夠精確、精確地控制自旋塗層。控制器鏈接到一個集成的流程數據庫，該數據庫可以優化每個應用程序的流程變量。此外，該資產具有很高的結果可重復性，每個晶片具有出色的調平精度和均勻性，從而確保了產量和質量的一致性。該模型的儲層是一個透明的、低壓的矽膠儲層，具有精確設計的傳輸體積，適合自動薄膜應用。易於維護，使其能夠用於各種薄膜類型，如稀釋樹脂和有機溶劑的使用。自旋塗層是一種用於紡出薄膜的高精度裝置，它包含一個矽膠蛋糕，借助晶圓上的水平紡絲，使薄膜均勻。此外,控制器還連接到旋轉塗層,從而可以針對每個應用對諸如速度、壓力和時間等參數進行精確調整。整個設備設計為提供紫外線（UV）成像，用於各種薄膜、抗蝕劑、電介質和金屬的圖案。它為單層和雙層電介質提供了卓越的性能，同時也允許雙圖案和精確蝕刻選擇。該系統還包括不同類型的塗料技術，如噴塗和自旋塗料，適用於所有類型的基板。這使得該單元能夠用於各種過程，從大規模生產到研究和測試應用。FSI Mercury是一款高度先進的自動化光刻機，與傳統的光刻系統相比，性能得到了提高。它具有最大的靈活性,並使用戶能夠在單個設備上執行復雜的陣列設計過程。