二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury #9157620 待售

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON MERCURY是為大體積光刻應用而設計的多功能、高精度光刻設備。它是一個集先進光刻和加工技術於一體的多合一系統，包括立體光刻、散射還原、CD控制和蝕刻。FSI水星裝置為精確、高質量的工藝提供高分辨率和穩定性。該機器具有專有的掃描工具和高分辨率曝光功能,可實現精確、高速曝光。它還具有Turbine Computer-Aided Manufacturing （TurboCAM）軟件,該軟件能夠創建快速的逐層光刻模式。TEL Mercury還提供高級曝光後處理功能。這包括一個多階段提前幹燥資產，防止汙染物和汙染物衍生的缺陷。它還具有高性能的旋轉器，用於優化自旋速度和自旋方向等參數，以實現更大的潤濕覆蓋率和出色的均質膜厚度。這種廣泛的處理選擇顯著提高了生產率,同時提供了一致的結果。水星還提供卓越的工具性能。它具有高精度的自動對焦模型，自動補償地形修改，如晶圓形狀、表面曲率和高度的變化。這樣可以確保最佳的圖像精度和隨時間推移的穩定性。該設備還提供先進的工藝控制能力，如高精度控制暴露劑量和CD均勻性監測系統，以識別甚至較小的不均勻性。總體而言，TOKYO ELECTRON MERCURY光刻裝置是需要高精度和穩定性的高容量光刻應用的絕佳選擇。它提供卓越的工具性能、先進的曝光後處理功能,以及對曝光劑量和CD均勻性的出色控制。其種類繁多的處理選項可帶來更高的生產率和一致的結果。