二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury #9187823 待售

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON MERCURY是一種光致抗蝕劑設備，旨在提供最高精度和可靠性。該系統將最新的光刻和成像技術與先進的光學單元設計相結合，使用戶能夠在各種基板上繪制亞微米特征圖樣。它為各種材料中形成精確的V形凹槽和溝槽提供了優越的圖樣精度、純度和可重復性。機器的心臟是發出窄帶紫外線的FSI Mercury影像燈。然後，一組濾光片將這種光混合到最適合光抗蝕劑顯影的波長中。優化的光譜允許抗蝕劑在保持最佳強度的同時迅速治愈。光致抗蝕劑工具利用高分辨率、激光掃描的具有九倍倍率的二元光學資產，以精細的細節曝光圖案。除了± 2 µm的可重復對準精度外，該型號還可實現小至0.5 µm的特征間距大小。設計的設備還帶有晶圓放置階段和先進的安全功能。舞臺提供45°的傾斜角，用於精確繪制接觸特征的圖樣和出色地控制抗蝕劑輪廓。此外,在光源和基板之間插入一層防反射膜,以減少散射,確保即使在非理想表面上也有令人滿意的照明,並防止舞臺過熱。最後，系統中安裝了安全互鎖，以確保只有在機器處於穩定和安全狀態後才會啟動紫外線暴露。事實證明，TEL Mercury光致抗蝕劑裝置在生產具有最高精度的光致抗蝕劑圖樣方面極其可靠。它可用於在各種基板上繪制超小型特征的圖樣，保證準確和可重復的結果。先進的光學、安全特性和可傾斜級相結合，也使其成為廣泛光刻應用的理想選擇。