二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury #9199857 待售

FSI MERCURY是一種光刻設備，設計用於生產用於制造集成電路（IC）的大型光刻掩模。該系統使光刻過程能夠以高精度和具有成本效益的方式完成。這種光敏裝置采用微鏡投影技術設計，以確保相當程度的線條柔韌性和間隙控制。可編程掩碼寫字機產生150 nm的特征大小，最多可存儲8K設計。薄膜層的尺寸精度在+/-7.5nm以內,50 mm器件的尺寸精度在+/-0.5%以內,直徑200 mm器件的尺寸精度在+/-0.2%以內。它是一種全自動工具，可以快速輕松地將一種設計轉換為幾種不同的口罩。可靠的MERCURY資產在為大型集成電路生產平版印刷版面膜時可實現精確的控制和準確性。它由使用發光二極管（LED）控制光刻過程中曝光量的光掩模模型組成。該設備采用光透射光柵和高反射性塗層的組合，以確保面罩的特性和與基板的精確匹配以及設計規格。FSI MERCURY系統還利用計算機控制的光束寫入單元來確保精確定義邊緣和形狀。該機還具有獨特的自動調諧功能，便於面罩設計與基板層的預期特性精確對齊。最後,MERCURY工具內置了QC選項,用戶可以快速有效地確定完成的掩碼的完整性。這有助於確保為集成電路制造只生產質量最高的掩模。FSI MERCURY具有很高的精度、可靠性和成本效益，是集成電路生產必不可少的工具。