二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury #9199921 待售

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FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury
已售出
ID: 9199921
晶圓大小: 6"
Spray cleaning system, 6".
FSI/TEL/TOKYO ELECTRON MERCURY是一種光刻設備,用於蝕刻或成形先進的電子設備,如微電子、基板。光致抗蝕劑是一種可以選擇性地暴露在蝕刻或成形過程中的薄膜。它是微電子和電子工業中制造元件的關鍵,也是確保元件正確成型和尺寸的關鍵。FSI Mercury的設計目的是在更快的時間範圍內提供精確的結果。它提供了精密圖樣的運動速度控制,以及高位置精度和對蝕刻或成形過程的高度控制。該系統還可以配置高級功能,如對準精度和脈沖寬度調制,以實現優化結果。該單元還結合了變溫和精確蝕刻的曝光控制等功能,使邊緣盡可能銳利。機器確保產品的形狀在可接受的參數內。另外,該工具還可以使用離子束濺射進行濺射蝕刻,使其達到更高的精度。TEL Mercury也被設計為低維護,使其能夠以最小的停機時間運行,進而導致成本效益更高的過程。它還具有高速脈沖寬度調制功能,能夠從基板內部識別低對比度模式,從而提高了生產效率,提高了小型組件的精度。總體而言,Mercury是在精密蝕刻或成型高端電子、微電子和其他基板方面用途廣泛且可靠的工具。它的功能使它能夠比以往更快地提供準確的結果,同時確保最小的停機時間和更高的工作效率。這使其成為各種行業應用的理想選擇。
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