二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury #9207178 待售

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON MERCURY光致抗蝕劑設備是來自FSI的前沿抗蝕劑管理解決方案,有助於實現批量生產和最先進的光致抗蝕劑處理及成像控制。FSI Mercury系統為用戶提供了一些好處,例如提高了曝光的均勻性,更好地控制了模式配置文件,提高了產量和吞吐量,提高了工藝可靠性。TEL Mercury單元利用先進的光學傳感器實時測量和記錄各層光刻膠和圖像結構的特性。這些數據被送入一個高速算法，根據發現調整抵抗參數（如厚度、電阻率等）。這樣可以定制抗蝕劑以表示客戶和流程的確切要求。此外，TOKYO ELECTRON MERCURY機器允許用戶通過集成高度敏感的數據分析工具來監控每一次新曝光或塗層對打印過程的影響。這允許用戶識別結構中的任何意外變化,例如厚度和電阻率,以及整體打印均勻性。Mercury工具的高級自動化功能可確保所有批次,甚至具有最具挑戰性模式的批次,都能可靠地、準確地處理和成像。該資產能夠控制精細圖案（包括多間距模式）的由內而外打印,從而實現高效、精確的精細專用投影。此外,當檢測到意外波動時,模型調用並實施糾正措施,以確保生產的所有階段都處於控制狀態。FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Mercury設備也為用戶提供額外的實時屈服模擬。此功能有助於提供可立即預測和執行的詳細狀態和預測更正。這有助於確保優化流程,並在所需範圍內打印任何圖案。總體而言,FSI Mercury光刻膠系統是一種高效、先進的產品,可為用戶提供更好的曝光均勻性、更好的模式配置文件控制和改進的工藝可靠性等優點。該單元非常適合薄膜工藝、電子器件制造、平板顯示器生產等先進的光刻應用。