二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury #9223674 待售

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON MERCURY是一種用於半導體晶圓製造的光敏設備。它是一個高度精確的系統，利用多種光學技術在晶圓上形成高分辨率圖樣時允許精確的光刻效果。該裝置采用先進技術進行大規模生產，適合制造經濟上可行的裝置。該機融合了多種不同的元件和技術。它們包括一個掃描頭，用於控制晶圓表面的激光光斑大小；具有獨立功率控制和頻率補償的短脈沖激光二極管陣列；用於控制過程的模型控制計算機；還有一個真空室。這個工具還有一個集成了氧氮氣體輸送資產的化學室。所有元件均由三軸運動控制器集成,使模型能夠在晶圓上的預定位置上精確放置激光束。光致抗蝕劑設備的光學性能對精確地形成所需的圖樣起著重要作用。數字光掩模與激光二極管結合使用，在晶片上產生光束圖案，然後暴露於光敏材料。然後開發出裸露材料，在晶片上基於激光二極管圖樣產生蝕刻圖樣。除光學元件外，系統還包含一套化學輔助蝕刻技術。這些技術旨在為蝕刻不同類型的材料提供多種不同的選擇。例如，各向同性蝕刻可用於蝕刻均勻或各向異性特征，而反應性離子和等離子體蝕刻則可用於創建較小、復雜和高分辨率的圖樣。FSI Mercury是一個創新的攝影工具，幫助半導體行業創造復雜的電子元件。它提供了一個堅固、可靠、準確的單元，適合制造經濟上可行的設備。此外，這臺機器能夠不斷提高精度和分辨率，越來越精確和復雜的技術。這種光致抗蝕劑工具能在多種材料中產生高分辨率特征，導致半導體工業的生產時間更短，成本更低。