二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury #9237638 待售

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ID: 9237638
Spray cleaning system P/N: 300982-003.
FSI/TEL/TOKYO ELECTRON MERCURY是一種光致抗蝕劑設備,用於多種芯片制造工藝。光致抗蝕劑,或稱光致抗蝕劑,是一種用於形成電子設備部件的材料。它是一種光敏聚合物,在暴露於光線下會改變其化學和物理性質。光致抗蝕劑可以用來沈積金屬,制造蝕刻圖案,形成芯片的絕緣層。FSI Mercury系統是一種先進的光刻工具,提供卓越的性能.該單元由一個具有步進重復能力的步進單元和一個使用高效氙燈光源的大面積曝光機組成。大面積曝光工具可實現全自動制造過程,節省大量時間。它還提供了更高的分辨率、一致的性能以及與光刻膠資產相比更好的對比度。TEL Mercury模型還具有自動晶圓處理設備和自動對準系統。晶圓處理單元允許精確控制晶圓並將其放置到曝光工具中。自動對齊機利用先進算法進行高度精確的模式放置。這確保了結果的準確性將是極其一致和可重復的。該工具利用了一系列專門的光學器件,這些器件被設計用來將光過濾並引導到晶圓上。這樣可以實現均勻而強大的光強度,這對於高精度的陣列設備至關重要。此外,光學器件能夠調制光,以達到不同的光學效果和控制曝光時間。汞資產是高精度芯片制造的多功能、強大工具。它提供精確的控制、優越的對比度、均勻的光照強度和精確的對準,允許高效生產半導體器件。該模型旨在實現芯片制造的最高性能和可靠性,使其成為芯片制造商的寶貴工具。
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