二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury #9271575 待售
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已售出
ID: 9271575
Spray cleaning system
586 CPU
Craft cabinet:
(7) Chemicals: H2SO4, HCL, HF100:1, HF10:1, HN4OH, H202, DI
(7) Flow range: 0-800, 0-300, 0-1500, 0-100, 0-300, 0-300, 0-2000
Turntable:
PVDF, 6"
(6) Positions
Acid cabinet
Console 1 configuration:
(3) Chemicals: H2SO4, HCL, H F100:1
(3) Filters: 0.1 um, 0.05 um, 0.05 um
Console 2 configuration:
(3) Chemicals: HF10:1, HN4OH, H2O2
(3) Filters: 0.05 um, 0.05 um, 0.05 um
Pure water heater: Helios 52 heater
Voltage: 480 Vac 80 Amps
Booster pump: Bipolar
(2) AutoFill valves
Vibration sensor
Dual exhaust.
FSI/TEL/TOKYO ELECTRON MERCURY是一種用於半導體製造的光刻膠設備。它是一種先進的光刻工具，用於創建和傳輸大體積的高分辨率圖樣到晶片上。光致抗蝕劑是光刻中使用的一種光敏材料，用作制造圖樣的曝光介質。FSI Mercury系統包括用於印刷的掃描設備、光刻塗層和曝光單元、清潔和烘烤過程以及用於後期處理的機器。掃描設備使用高功率激光在晶圓表面上創建納米尺度圖樣。光敏塗層機用於在創建圖樣之前在晶片上塗抹一層薄薄的光敏材料。在曝光過程中，激光束以特定的圖樣施加到晶片上，以創建所需的形狀。然後使用清潔和烘烤工藝來硬化光刻材料的加工層並清除任何碎片。最後,利用後處理工具進一步發展模式.TEL Mercury資產的設計非常可靠，可以高速運行。它還能夠產生具有精確模式和可重復性的高分辨率圖像。這使得它非常適合大容量的過程，並且由於工具的準確性而減少浪費。該模型還可以很容易地修復和自動化，以提高效率。此外，該設備非常適合先進的光刻工藝，如雙圖樣、多次曝光和無掩碼光刻。TOKYO ELECTRON MERCURY系統是復雜光刻工藝的強大工具。它為高分辨率圖像傳輸提供了可靠的工具，提高了效率，減少了浪費，同時還提供了光刻所需的準確性和可重復性。其先進的特性可用於提高產量和降低成本，使其成為半導體制造的絕佳選擇。
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