二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Orion #9298710 待售

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Orion是一種光刻膠設備，用於在半導體晶片上開發和成像光刻膠圖樣。它是一個全自動的工具/系統，使微電子工業中晶圓和基板的開發能夠精確的陣列和抵抗。FSI獵戶座光刻裝置由一個成像站、一個自旋站、一個熱板站和一個自動機器人組成，用於零件處理和移動。成像站由激光自動對準器、掩模對準器、紫外線燈、步進器和圖像窗口組成。激光自動對準器用於將掩模精確對準晶片。遮罩對準器用於將遮罩成像到晶片上,而UV燈則用於提供成像曝光。步進器和圖像窗口用於監視晶片的陣列。自旋站用於將光致抗蝕劑從晶片轉移到基板，以及用於開發晶片上的圖樣。旋轉是由一個機動化的機器，它可以旋轉晶片從零到五萬轉。熱板站用來在圖案化的晶片上烘烤一層感光材料。機器人用於在不同的工作站之間移動零件。它有五個運動軸，能夠編程和記憶重復零件運動的運動路徑。總體而言，TEL Orion光刻工具是一種可靠、準確的工具，能夠處理高精度的圖樣並抵抗微電子行業所需的發展。它由成像站、自旋站、熱板站和機器人等各種組件組成，所有這些組件一起工作，以確保晶圓上的精確成像和圖樣。