二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Orion #9384177 待售

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Orion是為光刻設計的先進光刻設備，利用光在基板上創建圖樣。這個系統使用一個光源，例如氟化氙（ArF）準分子激光器或二極管激光器將圖樣傳遞到基板上。光強度的操縱使得轉移成為可能。基板由一種被稱為光致抗蝕劑的輻射敏感材料組成，它對某些波長的光敏感。由於光強度的控制，該單元能夠創建具有精確圖案和精度的特征。機器包括主機、惰性或真空外殼、光刻塗層劑、氣流單元和曝光光學器件。主機運行專用於監視工具組件的可編程邏輯控制（PLC）。它能夠根據用戶的輸入運行模式和配方腳本，並允許用戶實時調整參數。惰性或真空外殼允許操縱底物周圍的環境，以便更精確地曝光光刻膠。光敏塗層劑負責將光敏膠沈積到基板上。它是通過一個噴嘴輸送的，該噴嘴將光致抗蝕劑液滴輸送到基板上。氣流單元負責為資產的運行供應惰性氣體，如氮氣或氙氣。模型的曝光光學部分包含光源和用於控制光強度的聚焦光學。該設備能夠制造尺寸小至0.05微米的結構。該系統非常適合制造微型電子或半導體器件組件。它也被用於MEMS（微機電系統）的研發。通過控制光源強度，實現了圖樣形成的精度。用戶還可以調整曝光後烘烤條件，進一步改善光刻膠的圖案。FSI Orion是一個先進的單元，能夠為各種類型的光刻應用在基板上傳送精確的圖案。