二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Orion #9384180 待售

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON ORION是一款光阻（PR）設備，設計的目的是使半導體電路的陣列比以往更高的精度和保真度。該系統使用光刻技術使用所施加的光將圖樣從遮罩或標線轉移到基板上。FSI Orion單元具有多種功能,非常適合用於現代半導體應用的高保真陣列。利用雙波長光源，可以用TEL Orion機制作出尺寸比其他方式小的極精細圖案。該光源能夠同時發射紫外線和極紫外線（EUV）,並且具有可調光斑大小,範圍從0.7到10.2 μ m。此外，該工具還具有光學集成腔室，與傳統的光刻系統相比，可大大提高光學性能。除了光學能力外，獵戶座資產還具有令人印象深刻的其他技術特點。這包括一種專有的高速快門模型,可大幅縮短曝光時間。此外，它還具有保護塗層，可以保護設備的部件免受可能對大氣中的化學物質和高電荷粒子造成的潛在損害。TOKYO ELECTRON Orion系統利用先進的計算能力來控制PR的精細方面。這包括控制暴露參數如劑量、照明波長、聚焦和自動聚焦精度、放大倍率、線性和角度誤差等細節。用戶界面的設計采用了直觀的布局，提供了一個易於使用的圖形界面來控制設備的參數。總體而言,FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Orion機器是一種高度先進的PR工具,它具有使其適合用於現代半導體應用的特性和功能。其雙波長能力、可調光斑尺寸、防護塗層以及先進的計算能力相結合，使其成為那些正在尋找高精度、高保真公關資產的人們的理想選擇。