二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Orion #9384186 待售

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Orion是用於半導體光刻的下一代光刻設備。它旨在適應極端紫外線（EUV）光刻、深紫外線（DUV）光刻和擴展光學光刻等技術的最新進展。FSI Orion系統具有模式寫入、晶圓管理、曝光和發布過程方面的最新進展。該單元旨在提供業界領先的分辨率和吞吐量,同時滿足精度和精確度的最高要求。TEL Orion機器包括多軸掩碼寫入和對齊工具,以及晶片裝載機/卸載機資產和步進/掃描儀平臺。掩模書寫模型由多波長、高分辨率的成像設備、多層的基板和能夠在亞納米級對準的掩模對準系統組成。晶片裝載機/卸載機提供了快速、準確裝卸基板和板材的能力。步進/掃描儀平臺能夠在各種光刻技術中以高精度成像超細圖案。TOKYO ELECTRON Orion機器還具有集成的計量功能,可進行在線過程監控。該工具包括一個可以檢測晶圓中亞納米特征的雙波長計量資產。雙波長計量法還可以分析晶圓級殘差，從而實現更嚴格的過程控制。該模型還包括一個集成的流程配方庫和高級串聯流程控制，以確保流程性能一致。Orion設備的設計目的是提供卓越的光刻性能,其成本可與其他高端光刻系統相媲美。該系統的設計具有可擴展性,可根據需要進行模塊化擴展,從而在引入新技術或新流程時輕松實施升級。該單元具有很高的靈活性,可輕松配置以適應不同的光刻解決方案。此外,該機器還具有廣泛的遠程支持功能,允許遠程查看刀具性能和升級。這允許更高級別的客戶服務和支持。總體而言,FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Orion是一種領先的光刻膠資產,旨在適應技術進步並提供業界領先的分辨率和吞吐量。該模型的靈活性、可擴展性和遠程支持是關鍵特性,使其成為半導體光刻的競爭選擇。