二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Orion #9384197 待售

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Orion是一款用於生產半導體元件的光刻膠設備。光致抗蝕劑系統能夠對用於制造納米級部件的材料進行精確調節。FSI獵戶座系統是一種具有暗場、反射和透射成像能力的光阻灰化、剝離和顯影裝置。它通過真空反應性離子蝕刻（VRIE）和非反射沈積（NRD）工藝的結合提供了更高的精度和控制。這臺機器的設計目的是通過快速的ashing時間和全自動的序列運行來最大限度地提高流程效率。TEL獵戶座可以加工多種光敏材料，包括聚酰亞胺、矽氧基氫、光敏聚合物、苯並環丁烯以及負極和正極光敏。它還能夠運行多個並發過程操作，如基板清洗、蝕刻、蝕刻、剝離、抗固化和溫度退火。該工具配備了1.3吉瓦射頻源，在任何基板上均勻蝕刻速率。改進的溫度精度，優化的等離子體條件，以及氣體混合的使用，給最終用戶更好的工藝精度。此外,該資產還提供了在多種條件下的可靠性和設備完整性,並提供了可選的實時數據收集串聯檢查模型。Orion還可以完全自動使用FSI專有軟件,使其成為大批量生產線的寶貴工具。此外,使用自動化物料處理和運行調度非常容易管理。因此,用戶無需擔心手動輸入數據或不斷調整硬件。總體而言，TOKYO ELECTRON Orion是一種先進的光刻設備，其設計目的是產生精確高效的結果，能夠在廣泛的工藝條件下實現良好的設備完整性。它非常適合大批量生產,並提供自動化、易於管理的過程。該系統具有快速的沖洗時間和更高的精度，是任何半導體制造過程中都非常寶貴的工具。