二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Orion #9391810 待售

FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Orion
ID: 9391810
Surface preparation systems.
FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Orion是專為半導體製造業而設計的光刻膠設備。光致抗蝕劑是許多半導體制造工藝中使用的一種化學物質,用於在半導體材料上創造幹凈光滑的表面。FSI獵戶座光刻系統是提供精密、精細控制和高性能的線形半導體處理單元的頂端,創造幹凈、銳利的光刻效果。TEL Orion使用了一系列的光源配置,包括高重復率和超短脈沖激光器,來創建高精度的光阻圖樣。這臺機器具有先進的波長控制和高度可調的光學工藝,能夠對尺寸不超過10納米的特性進行制圖。光致抗蝕劑層經過精密控制,可確保膜沈積高度均勻。該工具還可以處理多種光刻材料,使公司能夠開發多種光刻工藝。資產的主要功能包括制圖、清潔、溫度控制、幹燥、烘烤。圖案化在控制薄膜質量的同時產生細層的光刻膠。通過精確的溫度控制,該模型能夠快速安全地清潔幹燥材料。設備還提供精確烘烤工藝,有助於改善蝕刻過程中的光刻效果。除了高性能、精確度和控制外,系統還包含了最先進的安全和環境特點。TOKYO ELECTRON Orion單元通過提供安全、清潔和高效的光刻加工,確保了工藝性能的一致和高分辨率的光刻效果。對於半導體制造商來說,Orion光刻機是一種理想的工具,他們需要一種可靠、經濟高效的方法來快速在半導體晶片上創建幹凈、準確的特征。其先進的特點、精確的控制和可靠的工藝效果使其成為任何半導體制造項目的理想選擇。
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