二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON PFA Turntable for Mercury MP #293650475 待售

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON PFA Turntable for Mercury MP是一種在半導體制造過程中為生產而設計的光致抗蝕劑設備。它是一種獨立的單軸設備,旨在提供卓越的性能、卓越的速度和卓越的精度。轉盤先進的電機技術產生高精度的線性運動和精度，這在半導體工業中很重要。它具有雙激光加速和減速連接、專利的低振蕩進給控制系統以及易於安裝的自定心底板。Mercury MP的FSI PFA Turntable可以處理各種原生質和生產層薄膜，為目標應用提供了廣泛的照明和對比度。其內置的氣刀單元在加工室內圍繞基板產生可再現的氣隙，為基板提供有效而均勻的冷卻。此功能有助於生產過程中的關鍵表面凍結過程。它還利用了大功率的汞燈，在基板表面提供均勻一致的照明，從而實現更好的均勻性。轉盤采用數字伺服電機設計，能夠產生順時針和逆時針方向的高精度線性運動和速度。這項功能使機器能夠高速精確旋轉零件。此外，轉盤使用數字激光對準工具，以確保準確性和均勻性。高精度激光對準資產使模型能夠達到先進半導體工藝所需的穩定性和準確性水平。TEL PFA Turntable for Mercury MP除了具有卓越的加工精度外，還配備了多項增強功能。它具有用於維護最佳加工包絡的掃描桿設備、旨在最大程度減少熱變形的液體冷卻系統,以及支持清潔和無碎屑處理環境的低壓保持單元。它還附帶在線自我診斷軟件,可幫助進行故障排除和維護。總體而言，PFA Mercury MP轉盤是一種用於半導體生產過程的可靠高效的光刻機。它提供高精度的線性運動和速度，並具有先進的電機技術和激光對準系統的精確和均勻的處理。憑借其內置的功能，該工具為原型和生產層膜的處理提供了有效、低維護的環境。