二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON PFA Turntable for Mercury MP #293808180 待售

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON PFA Turntable for Mercury MP是一種光刻膠設備，使用戶能夠自旋薄膜基板，用於光刻膠的應用和圖樣的蝕刻到表面。該創新系統旨在實現可靠、準確和高效的處理,並具有高生產吞吐量。該單元的基本設計包括一個用於手動旋轉的角度徑向臂、一個用於自旋速度控制的行星電動機，以及一個用於平滑和牢固地固定基片的卡盤。它的220°垂直動態和可調節的運動範圍可以方便地從自旋盒式磁帶裝載和卸載基板。這一特性對於均勻的薄膜自旋塗層工藝也很有用，在這種工藝中，可以調整手臂以穩定基板，並在旋轉過程中保持恒定旋轉。PFA轉盤采用經過精心設計的重型部件構建,如陽極氧化鋁部件、超光滑的直線軸承和耐用的聯軸器。其可靠的裝配保證了最低的振動，最大的刀具壽命和精度。該機還具有可選的耐酸塗層，使其能夠承受光刻劑和蝕刻材料的化學沈積。主軸旋轉通過精確到0.1 Hz的變頻驅動器控制，並提供100到20,000 RPM之間的低速範圍控制能力。該驅動器還配備了自動加速減速控制的數字設定點控制，以及電機和基板的超速保護。Mercury MP的FSI PFA轉盤設計用於提供可靠、高效、精確的光刻膠處理,以實現高水平的生產吞吐量。其先進的設計和構造，加上其電動徑向臂和可調節的運動範圍，可以實現從載荷到卸載基片的最佳自旋塗層工藝。重型組件和可靠的裝配確保它能夠輕松處理最困難的光刻應用。