二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON PFA Turntable for Mercury #293640260 待售

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ID: 293640260
晶圓大小: 6"
6".
FSI/TEL/TOKYO ELECTRON PFA Turntable for Mercury是一種設計用於各種材料加工應用的光敏設備。這種光致抗蝕劑系統允許在各種材料中快速和可重復地沈積具有高質量和可重復性的薄膜。FSI PFA Mercury Turntable使用獨特的「提升和推動」機制將薄膜沈積到基板上,從而無需對樣品進行復雜的手動操作。這種機理使光致抗蝕劑能夠均勻、高精度地施加,同時控制光致抗蝕劑的厚度。該裝置采用三通道輸出級,可調節薄膜厚度和沈積能級。除了薄膜沈積外,該機還可以使用相同的光刻膠設置對多個樣品進行快速批處理。這增加了工具的價值並提高了效率。TEL PFA Mercury Turntable還實時跟蹤其處理條件並存儲數據以供進一步分析。PFA Mercury Turntable配備了一個汞燈,它提供了廣泛的輻照波長,並為汞束的銳焦提供了先進的光學資產。使用的汞燈的選擇取決於所加工的材料,從而能夠沈積質量和可重復性得到改善的量身定制的薄膜。TOKYO ELECTRON PFA Turntable for Mercury還配備了真空模型,從底物中抽出任何殘留的光致抗蝕劑和其他揮發性物質的痕跡,導致所需材料的清潔、均勻沈積,沒有針孔形成。最後,FSI/TEL/TOKYO ELECTRON PFA Mercury轉盤是一種可靠的光致抗蝕劑設備,它使薄膜的沈積任務變得簡單。該光刻膠系統具有直觀的「升壓」機制、實時數據跟蹤以及用於輻照選項的汞燈,具有無與倫比的精度、一致性和可重復性,是任何材料加工應用的絕佳選擇。
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