二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON PFA Turntable for Mercury #9252200 待售

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON PFA Turntable for Mercury是一種設計用於光刻應用的高精度光刻設備。轉盤采用旋轉機械平臺和先進的光刻膠輸送系統，在一系列基板尺寸和形狀上提供均勻的光刻膠塗層。該裝置的設計滿足了生產光刻中最苛刻的要求，在保持曝光和塗層穩定性的同時提供卓越的透射。轉盤機具有精密的閉環控制體系結構，允許在基板旋轉過程中精確控制臨界方向和速度參數，最大限度地實現工藝覆蓋的均勻性。該精密平臺設計為提供低噪聲和漂移，在整個過程中具有高精度。轉盤采用直接驅動電機工具和超精確角度編碼器，以盡量減少由於振動或空氣幹擾而產生的任何沈降誤差。這確保了工藝結果的可重復性，使資產能夠在光刻應用的嚴格公差範圍內保持旋轉精度和均勻性水平。汞源安裝在轉盤的前部，提供可靠、穩定和能效的光致抗蝕劑向基板的輸送。源也可以使用高級控制算法進行優化，以確保在整個過程中一致的圖像均勻性。它配備了多個安全系統，降低了意外過程汙染的風險。此外，轉盤具有快速轉換能力，允許同時裝載和卸載基板，以提高生產率。平臺兼容各種格式的基板，包括石英、玻璃、矽片和有機基板。通過選擇載荷容量,包括150 mm、200 mm或300 mm,可以快速處理這些晶片,從而在光刻過程中提供必要的精度和可重復性。FSI PFA Turntable for Mercury為光刻應用提供了可靠的解決方案,它將高精度驅動模型和先進的光刻膠輸送設備與最新的安全功能結合在一起,采用了緊湊且用戶友好的設計。