二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON PFA Turntable for Mercury #9301950 待售

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ID: 9301950
晶圓大小: 6"
6".
FSI/TEL/TOKYO ELECTRON PFA Turntable for Mercury是一款光刻設備,利用最新的創新技術為用戶提供高分辨率的成像和出色的重復性。該系統允許處理復雜和細膩的光刻膠,包括具有特殊特征的光刻膠,如圖樣化和高長寬比。其組件包括兩個帶編碼器的旋轉級、電動XY級、兩個二極管激光器、一個具有4倍TTL變焦範圍的顯微鏡相機和最大分辨率5nm的行星圖像分析。轉盤的兩個旋轉級提供了最大的精度和速度,因為每個轉臺可以獨立工作。第一階段為主舞臺,由電機驅動,而第二階段則由單位的編碼器控制。這臺整機經過精密調整,保證了最高精度和精密控制。此外,雙二極管激光器可以快速、精確地繪制光刻膠的圖樣。這允許最大限度地提高光刻膠的處理效率,從而實現更高分辨率的成像。此外,4倍TTL變焦範圍的顯微鏡相機為用戶提供了微小細節的出色成像。這允許研究材料和過程的數量,包括薄膜沈積和蝕刻。此外,最大分辨率為5nm的圖像分析采用行星方法,提高了用戶對關鍵過程和參數的分析、監控和控制能力。該工具對於提高光刻膠產品的產量,提高成像可靠性非常有用。總體而言,FSI PFA Mercury轉盤是一項先進的資產,它采用領先的技術來確保卓越的成像和最大的可重復性。它的兩個旋轉級和高分辨率成像允許最大效率的生產光刻膠。此外,雙二極管激光器有助於精確的圖樣繪制,圖像分析使用戶能夠更好地分析和控制光刻過程。
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