二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON PFA Turntable for Mercury #9354525 待售

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON PFA Turntable for Mercury是一種光致抗蝕劑設備，設計用於晶圓和基板的高精度處理。這種光刻系統采用雙套筒「轉盤」設計，能夠準確地運輸和加工工件。該裝置包括一系列集成傳感器，可持續監測和調整環境和基板位置的變化，以確保精確定位和處理。轉盤本身采用模塊化設計，便於升級或更換部件。FSI PFA Mercury轉盤為許多光刻膠工藝提供了一種高度可靠和有效的解決方案。它能夠處理200毫米（7.87英寸）以下的基板。汞光致抗蝕劑可以噴塗到基板上，然後由電動機在轉盤上旋轉，以獲得更高的精度。臺面有一個集成的流量控制機，在噴塗時保持均勻的溶液。轉盤還有一個精密滾筒，確保基板的移動準確，並且在加工過程中不會移動。轉盤也是自閉式的，具有廣泛的安全特性。其中包括一個過載監控工具，在發生阻塞或堵塞時自動停止資產。此外,轉盤還具有兩個緊急停止開關和兩個中央激活的安全開關。它還具有一個壓力傳感器，用於監測施加在基板上的壓力，以防止任何潛在的損害。TEL PFA Mercury Turntable是一個非常高效可靠的模型，旨在為用戶提供高精度的處理結果。這是非常安全的使用，並提供了基板定位和加工的完全控制。這種設備非常適合那些尋求高效光敏處理系統的人。