二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON PFA Turntables for Mercury #293653294 待售
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FSI/TEL/TOKYO ELECTRON PFA Turntable for Mercury是一款用於半導體制造的最先進的光刻設備。它為光刻工藝的進步提供了高性能的解決方案。該系統使用了超精確轉盤的平臺加上先進的Mercury High-End Photoresist Processing技術。FSI PFA轉盤提供可靠的高檔生產,同時允許生產小至25 nm的小型結構。此單元提供卓越的精度,能夠分辨率復雜的圖樣具有出色的覆蓋精度.它的模塊化設計允許各種可定制的配置。轉盤有一個內置的加工站，能夠完成光刻過程。它包括一個集成的熱板、噴泉和一個內部擴散泵。集成熱板具有較高的溫度性能和良好的均勻性.它還有一個快速移動的熱板，允許快速的轉彎時間和高效的循環。噴泉設計方便均勻的液體分配和準確的劑量，從而達到精確的結果。擴散泵有助清除過程中各種不需要的顆粒。FSI PFA Mercury轉盤還具有溫度反饋功能,這意味著對溫度進行連續監控。這有助於最大限度地減少熱漂移和過程漂移,提高性能和一致性。此外，它還有一個集成的激光視頻測量機（LVMS），它啟動自動數據收集，以更好的過程控制和配方打印。該工具包含一個128位多向編碼器，它提供了對模式位置和方向的精確控制。其他特點包括封閉式設計和與潔凈室兼容的不銹鋼結構，確保安全清潔的操作環境。PFA轉盤還與其他流程工具兼容,並提供了廣泛的自定義解決方案。所有這些組件的組合有助於提供可重復和可靠的過程,並對模式對齊和參數進行極其精確的控制。總體而言，TEL PFA Mercury轉盤是一種可靠高效的光刻材料，非常適合半導體制造，提供卓越的精度和可重復性。它的模塊化設計允許各種可定制的配置,其高溫集成確保了高性能解決方案。
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