二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Polaris 1000 #9264626 待售

FSI極化1000（FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Polaris 1000）是一款用於半導體制造工藝的光敏設備。光致抗蝕劑是一種光敏材料，用於半導體晶片的表面，以便在設備的各層中創建圖樣。這對於集成電路的制造很重要，因為它允許晶體管、電容器和其他組件的精確放置。FSI Polaris 1000系統使用深紫外線（DUV）在多種基板上快速曝光光刻膠。這種光是由一盞400mm鈦摻雜藍寶石（Ti： S）燈提供的，它以250 nm的波長傳遞光。此外,該單元還可以容納各種不同的照明模式,包括矩形平行掃描、環形掃描和均勻掃描。TEL Polaris 1000還具有全自動電荷耦合器件（CCD）計量機，用於測量光刻相關參數。該工具能夠測量晶圓表面上圖像的線性和熱/冷位移。此外，資產還配備了快門和自動對焦模塊，以確保光刻膠被精確曝光。北極星1000設計用於潔凈室環境。其額定等級為1,000級，這意味著它的設計目的是保持一個潔凈室環境，每立方英尺空氣的大小不超過1000粒0.5 μ m或更大。此外,該模型還可以存儲多達50種配方,從而可以輕松快速地對重復操作進行編程。TOKYO ELECTRON Polaris 1000是半導體制造商的一款易於使用、可靠、高效的光刻設備。它能夠在各種不同的基板上產生高精度圖像，其CCD計量系統允許精確測量關鍵過程參數。FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Polaris 1000具有集成的安全特性,是任何半導體制造設施的絕佳選擇。