二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Polaris 2000 #9167965 待售

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FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Polaris 2000
已售出
ID: 9167965
晶圓大小: 8"
Coater / Developer, 8" Area: P-TEST.
FSI/TOKYO ELECTRON FSI/TEL/TOKYO ELECTRON POLARIS 2000光刻設備是一種用於半導體和集成電路制造的高端光刻工具。它使用戶能夠在集成電路組件上創建精確的電路模式。該系統具有高分辨率投影鏡頭、高速步進器、石英激光源和專有的自動曝光單元。該機具有亞微米級分辨率,同時實現高產率和提高生產率。優越的光學元件可以直接成像較小的特征,而無需額外的元件。該工具包括一個復雜的焦距控制資產,允許用戶在創建復雜的模式時達到最佳精度水平。FSI Polaris 2000具有精密和高速步進電機,允許用戶選擇可提供最佳結果的曝光參數。該模型支持噴塗和旋轉塗層工藝,以便在制造過程中提供精確的層厚度。該設備還包括一個石英激光源,它提供了卓越的微焦和高的曝光性能。TEL Polaris 2000管理的專有自動曝光系統旨在減少曝光時間並最大限度地提高產量。自動曝光單元利用高級算法確定給定基板的最佳曝光參數。機器還會自動調整過程相關變量,並適應刀具參數隨時間的漂移。該資產包括一個直觀的觸摸屏界面,便於操作。TOKYO ELECTRON Polaris 2000的操作範圍很廣,允許使用者創造出高達0.1微米大小的特性。該模型設計為適合狹窄的空間,可提供多種配置,以適應不同的機床布局。該設備與多種光刻材料兼容,可與熱和非熱系統同時使用。北極星2000是一種先進的光刻系統,適用於各種各樣的半導體和集成電路應用。它的高分辨率投影鏡頭、高速步進器、石英激光源和自動曝光單元為用戶提供了在各自行業中需要出色的精度、速度和產量。
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