二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Polaris 2000 #9202286 待售

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON POLARIS 2000光刻設備是一種多功能、低體積、CASS/光刻系統，用於集成電路生產。FSI Polaris 2000是一款全模具尺寸的光刻裝置,具有覆蓋12英寸寬的晶片的劃線區域。該機器的設計考慮到了過程的靈活性和可擴展性，為多層設備的生產提供了光刻工藝。該工具利用光刻膠資產和計算機輔助光刻技術（CASS）將單層光刻膠精確地應用於多層設備。該機配有6.5KW電容電源、多波形發電機和用於均勻固化層的雙區加熱。電源既提供精確度,又提供各種功率級別,從而提高了精度和可重復性,而CASS和多區則允許光刻膠的精確對準、分辨率和曝光。該模型允許在受控環境中精確分配光刻膠溶液。兩步分配過程；第一步采用變速分配泵，第二步采用可調氣刀，對目標層的光刻膠流動進行成形和控制。該機還具有可調節的氣刀，允許流量高達12英寸寬，以及速率和音量控制。自動吊艙裝卸功能允許底物裝卸完全自動化,並提供與其他FSI系統的集成就緒集成。該機還提供了數字圖像分析、自動膠片厚度測量、提高數據可重復性等多種增強選項。寶麗來2000設備的處理時間範圍在12秒以下至近12分鐘，可提供低至0.3微米、高至600微米的層厚。該系統可實現6 nm內的膠片可重復性,並具有高達200 nm的視覺定位功能。綜上所述，TEL Polaris 2000光刻裝置是一種多功能、體積小、用於集成電路生產的CASS/Lithography機器，具有集成電源、多波形發生器、雙區加熱和自動吊艙裝卸功能，以提高晶圓劃線的性能和精度。該工具具有廣泛的處理時間,允許精確的分辨率和可重復性。