二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Polaris 2000 #9278707 待售

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Polaris 2000是一種光阻設備，設計用於支持各種設備的制造。該系統使用一種液體化合物，稱為光致抗蝕劑，當用光照射時會發生反應。光有選擇地暴露光刻膠材料，允許使用計算機控制的光束完成光刻膠層的圖案。FSI Polaris 2000是一種紫外線曝光工具，在精度上適合於多種設計的生產。這種裝置是制造任何種類的微電子器件的理想選擇，具有光刻性能，紫外線激光輸出高達300 mW/cm ²。該工具配備了先進的控制能力，包括真正的二維內部晶片級、z級、旋轉級、自動曝光或手動曝光以及濕度控制單元。該機還配備了多種自動化過程控制功能，包括暗場工具、各種聚焦開發技術、薄膜厚度控制和增強過程控制。TEL Polaris 2000也可以用作步進工具，在使用這種光刻膠加法開發模式時提供靈活性。此資產允許使用單個掩蔽晶片生成多個陣列,以及對各種基材和設備幾何形狀進行精確陣列化。刀具的內置自動對齊功能允許在單個晶片上實現更高的精度和多層對齊。在維護光刻膠模型的最佳工作條件方面,Polaris 2000提供了一系列環境控制功能。該設備有一個內置的濕度和溫度控制過濾系統，以及一個內置的隔振臺，減少外部條件對過程的影響。為了最大限度地提高光刻膠開發過程的可靠性，TOKYO ELECTRON Polaris 2000還配備了恒定輸出功率監控單元，以及內置的焦比監控機。最後，來自FSI的FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Polaris 2000是一種先進的光刻工具，旨在支持各種設備的制造。該資產配備了先進的控制能力，以實現多用途光刻性能，同時還具有充分的環境控制功能，以達到最佳工作條件。該模型可作為步進工具，在開發圖樣時提供靈活性和精確度，是任何一種微電子器件的理想選擇。