二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Polaris 3500 #293616823 待售

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Polaris 3500是一種光刻設備，用於生產精密的微電子和光電元件。該系統利用先進的步進電機運動單元和專有軟件來精確地暴露和去除基板上包含的光敏材料的特定區域。該機具有優化的聚焦磁鐵和低噪聲快門設計，允許亞微米精度在曝光過程中。該工具采用光束優化的照明器，能夠以很高的分辨率產生光圖案和其他圖像形狀。這種照明器提供了廣泛的光波長，並有能力創造高可重復和精確的光模式，以更好的產量。此外,照明器還具有光圈照度監視器,可進行精確的照度監控.該資產具有用於投影光學的數字鏡頭模型。這樣就可以準確定位投影鏡頭,並提供易於對準、重復模式質量提高、分辨率提高以及在整個視場上均勻、可重復的性能等優點。設備的心臟是8英寸卡盤級，可以在加工過程中精確定位基板。其多點卡盤系統能夠將基板牢固地固定在原位，同時提供平滑的運動和高重復性。該級配備了檢測基板尺寸、類型、位置以及溫度測量的傳感器。該裝置還擁有一個多通道、電子選擇性場熔融膜模塊，可以準確地曝光和去除基板上的光敏材料。此模塊支持多個MESFET通道。薄膜模塊與光刻過程模塊一起，在光刻過程中提供了高度可重復和精確的控制。FSI Polaris 3500是一款創新的光刻機床，設計用於生產精密度高的微電子和光電元件。其優化的照明器、數字透鏡工具、卡盤階段、多MESFET薄膜模塊提供了無與倫比的模具能力和生產精度。