二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Polaris 3500 #9092708 待售
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已售出
ID: 9092708
晶圓大小: 12"
Coater / Developer system, 12"
(2) Coat/Develop spin modules
Coat/blank spin module
Prime/Bake/Chill modules; (0) prime stations; (4) bake stations; (3) chill stations
Prime/Bake/Chill modules; (1) prime stations; (4) bake stations; (2) chill stations
I/O with (2) 12" FOUP platform
Scanner Interface
6-Axis wafer handling systems
Polaris water chiller II
(2) Carbon filter stack modules
Robot controller cabiner
User Interface Panel
Corner Dispense module
Electronic control module
T/H Environmental control system: cluster Plemm and ram 2000
Facilities platform
Electrical power distribution system
Stepper breezerway kit.
FSI/TEL/TOKYO ELECTRON POLARIS 3500是一款最先進的光電抗蝕劑設備，能夠產生質量優良的光電抗蝕層。該系統采用了專有的盲曝光技術，實現了準確和可重復的圖像傳輸，並且在廣域內的排泄率最小。它能夠在高吞吐量下處理直徑達300 mm的大型晶片。光敏裝置結合了由先進運動控制器控制的高度精確的晶圓處理機，甚至能夠處理最脆弱的基板。此外，該工具具有高分辨率的線性級，用於精確定位基板相對於曝光源的位置，以及確保曝光時安全操作的紫外線阻擋殼體。FSI Polaris 3500旨在生產質量最高的光敏層。它配備了自動化配方處理資產（ARPS）來控制能量、劑量和時間等暴露參數，模型能夠以可預測的方式產生高度均勻的抗蝕層。TEL Polaris 3500還能夠實現一流的吞吐量和過程穩定性。它擁有設計用於減少晶圓缺陷的先進背面清潔設備,以及能夠更快地處理抗蝕層的快速運行系統。該單元還配備了無邊表面預處理機，可防止在基材邊緣堆積，增強圖樣質量。TOKYO ELECTRON Polaris 3500是一種高度可靠和高效的光刻工具。它的模塊化設計便於維護,資產利用高級控制算法實現高效的能量和劑量暴露,從而確保最高級別的過程可靠性。總體而言，這種光刻膠模型提供了優異的工藝效果，是廣泛半導體應用的絕佳選擇。
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