二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Polaris 3500 #9360848 待售

FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Polaris 3500
ID: 9360848
Systems.
FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Polaris 3500是為光刻和高分辨率圖樣應用而設計的先進光刻設備。它配備了先進的紫外線光源、數字成像、多光束對準技術,所有這些都結合起來,使亞微米的圖樣化成為可能。FSI Polaris 3500上的UV光源提供了平坦的照明場,使其適合在小至0.35微米的分辨率下進行圖樣化。它的功率輸出範圍很廣,從1.5 mW/cm2一直到100 mW/cm2不等,可實現更高的陣列精度和分辨率。TEL Polaris 3500上的數字成像系統具有高靈敏度的高分辨率成像傳感器。多束對準技術利用多束激光束精確對準曝光場,減少錯配誤差。該裝置還配備了精確的快門控制裝置,用於精確定時曝光過程和防止不必要的曝光。北極星3500能夠處理多種光敏材料,包括正負光敏,甚至異國情調的材料。它設計為低維護和用戶友好,因此操作員可以方便地設置和操作機器。該工具的集成計算機具有用戶友好的圖形界面,使操作變得簡單直觀。TOKYO ELECTRON Polaris 3500是制造高精度、高精度電子器件的絕佳工具。其先進的光致抗蝕劑資產,加上其功率輸出的範圍,使其成為實現復雜模式任務的理想選擇。其低維護和用戶友好的性質使其易於操作,而其精確對準系統則確保每次都能獲得準確的結果。
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