二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Polaris PR #9375500 待售

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Polaris PR是由FSI International和TEL開發的光阻設備。該系統旨在使用戶在圖樣和蝕刻過程中獲得更高的分辨率。它結合了高分辨率的蒙版對齊器和全面的幹濕處理解決方案。該單元中的掩模對齊器能夠精確繪制具有亞微米分辨率的微觀特征。這是通過先進的投影光刻頭實現的，具有增強的散焦和次孔徑縫合。投影儀還具有可變柱頭和多個自動對焦系統，以確保準確性。濕法和幹法處理解決方案基於一個整合了等離子體加工室、自旋加工工具、蝕刻工具、基板裝載機和用戶界面的集成平臺。等離子體加工室具有較高的蝕刻速率和抗蝕層穩定性；它們還能夠精確控制蝕刻過程，以減少過度蝕刻效果。自旋加工工具有助於對光刻膠和其他材料進行精確的制圖。蝕刻工具能夠精確去除非平面基板或特征。此外，基板加載器提供了一種在不同加工工具之間移動基板的自動化方法。該機還通過其集成的過程控制工具提供精確的過程控制。該資產具有數據記錄、與其他分析系統的通信以及可用於調整流程參數以優化流程性能的遠程監控工具。此外，該模型還配備了曝光監測和晶圓分割等附加功能，以進一步改善工藝控制。最後，設備的用戶界面提供直觀的操作和數據可視化。它具有符合人體工程學的設計,易於使用。它還包括用於質量控制過程的高級報告生成系統。總體而言,FSI Polaris PR是一個先進的光刻裝置,旨在使用戶能夠在陣列和蝕刻過程中獲得卓越的分辨率。它結合了高分辨率的面罩對齊器和全面的幹濕處理解決方案，並提供精密的過程控制與它的集成過程控制機器。用戶界面設計為直觀、符合人體工程學，便於操作。