二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Polaris #9092981 待售

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Polaris是一款先進的集成電路制造光刻設備。光致抗蝕劑是一種用於在晶圓廠工藝中向基材轉移圖樣和結構的技術。這種特殊的工具在速度、分辨率和容量方面都是優越的工具。系統內部采用先進的高速半導體處理器。這是執行操作、數據傳輸和圖像處理等基本功能的單元的核心。另外還有一個高度敏感的光學機器，由掃描激光和鏡頭組成，與偏轉鏡一起作用，以確保精確成像。該工具集成了雙光束掃描儀,並與三菱的專利解決方案聚焦成像技術相結合,FSI Polaris可以提供比其前代產品更快的2.5X成像性能。資產包括溫度控制和許多其他功能。該模型還采用優化的曝光時間構建，以確保光刻膠不會產生任何暗色缺陷或殘留物。除了它的速度和成像精度，這設備包括一個獨特的蒙版舞臺特點。此功能使用戶可以在成像過程中調整光掩模的高度和傾斜度,從而可以精確調整亞微米特征的臨界尺寸（CD）。TEL Polaris還支持廣泛的E-Beam和Laser技術，提供比競爭技術更靈活的光刻選項。此外，該系統擁有一些獨特的先進相機技術，允許用戶實時查看整個晶圓覆蓋範圍。這使得識別和糾正缺陷位置成為可能，從而使晶圓過程的控制更加高效。在安全方面，該機組采用先進的多層安全防護功能，確保安全法規得到遵守，並保護機器的重要部件免受電磁幹擾造成的損壞。總而言之,Polaris是一種獨一無二的光刻工具,提供卓越的效果和廣泛的選擇。它已被證明是集成電路制造的絕佳選擇。