二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON PVDF Turntable for Mercury MP #9364334 待售

ID: 9364334
晶圓大小: 4"
4" 8-Position turntable.
FSI/TEL/TOKYO ELECTRON PVDF Mercury MP轉盤是一種光刻設備,旨在為電子產品的制造提供精確的陣列。該系統以渦輪分子泵為基礎,提供轉盤穩定、高效的旋轉,用於均勻沈積光致抗蝕劑。為了確保光刻膠的精確圖案,FSI PVDF Mercury MP轉盤包含了許多高級功能。首先,設計和構造了裝置的部件,包括安裝板和抗蝕性塗層頭,使振動最小化,動態穩定性最大化。這樣可以確保光刻膠流到晶片表面上的流暢、一致,且陣列誤差最小且覆蓋範圍不大。TEL PVDF Turntable for Mercury MP還集成了精密旋轉密封機,實現了光刻膠的可重復和精確圖樣化。這種密封工具在晶片周圍建立一個真空閥,最大限度地減少汙染和遮蔽光刻膠。利用旋轉部件,該資產還允許調整間隙間距以適應各種基板,從而無需手動調整膜厚度。此外,TOKYO ELECTRON PVDF Turntable for Mercury MP擁有先進的軟件包,旨在提供簡單的用戶界面和全面的數據記錄。該軟件支持一系列照片成像過程的操作,包括曝光、硬化、對準和蝕刻。這種先進的軟件還允許定制的過程操作,並且響應速度高,處理速度高達12008w/minute的光刻膠。PVDF Turntable for Mercury MP是一種高度先進的光刻膠模型,專為滿足電子制造商的工業需求而設計。該設備具有高速、精確的圖案和穩定的操作組合,非常適合所有需要光致抗蝕劑的應用,從基本塗層工藝到復雜的電路制造。
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